焦點文章

無塵室空氣濾網怎麼選?等級分類與選購指南!
無塵室是以空氣中懸浮粒子的數量來區別他們的級數,並以1立方英呎中含有多少微粒數≧0.5㎛而定。 無塵室為嚴格控管氣懸微粒濃度的場所,力求避免微粒引入、產生及滯留,並在需求範圍內控制其溫濕度、氣流分佈、調節壓力、防止靜電等,多應用於對環境潔淨度特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、食品和醫院內的手術室等行業。無塵室又可分為正壓與負壓二種,一般產業所使用的均為正壓型式,主要是預防室外的落塵污染,而在醫院或有些生技廠房都會使用負壓無塵室,因為怕細菌外洩所以室內相對於室外氣壓必須為負,像是之前SARS期間我們常聽到「負壓隔離病房」就是這個意思。
閱讀全文 >無塵室空氣濾網怎麼選?等級分類與選購指南!
AMC 的防治與化學濾網
除了常見的各種工業污染,在半導體高階晶圓製造廠中,也早已開始關心比病毒還要小十倍的氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination,AMC)濃度。除了人員安全上的問題之外,晶圓的良率也非常容易受影響。然而 AMC 來源範圍相當廣泛,因此如何有效控制逐漸成為相關業者相當困擾的一大難題。
閱讀全文 >AMC 的防治與化學濾網