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除了常見的各種工業污染，在半導體高階晶圓製造廠中，也早已開始關心比病毒還要小十倍的氣態分子汙染物（Airborne Molecular Contamination，AMC）濃度。除了人員安全上的問題之外，晶圓的良率也非常容易受影響。然而 AMC 來源範圍相當廣泛，因此如何有效控制逐漸成為相關業者相當困擾的一大難題。