半導體無塵室 HEPA 濾網更換標準：H13 vs H14 規格選擇與 PM0.3 控制指南

在半導體晶圓代工、高階封測及電子精密組裝產業中，無塵室（Cleanroom）的空氣品質是確保產品良率的命脈。隨著製程進入 2 奈米與更高階技術，微粒控制的容錯率幾乎為零。

對於廠務經理與設備維護團隊而言，選擇合適的 HEPA 高效濾網 並建立科學化的更換標準，不僅是維護生產環境，更是落實企業 ESG 節能目標 的關鍵環節。

為什麼半導體廠應優先考慮 H14 等級濾網？

在 ISO 14644 標準下的高規格潔淨室，微粒過濾效率的微小差異，就可能導致晶圓污染與巨額損失。

  • 過濾效率的跨越： H14 等級濾網在過濾微小粒子時，效率高達 99.995%，相較於 H13 的 99.97%，其過濾效能提升了一個數量級。
  • PM0.3 極致防禦： 漢克林（Hencolin）HEPA 濾網針對 0.3μm 懸浮微粒 進行優化處理，能有效捕捉極細微塵，確保在關鍵製程區形成穩定的層流。
  • 低硼 (Low Boron) 選擇： 針對先進製程，我們提供低硼濾材方案，防止化學分子污染（AMC）影響矽晶圓的電性表現。

工業級 HEPA 高效濾網：四大產品技術亮點

身為專業的濾網製造商，漢克林致力於提供符合國際 B2B 採購標準的高品質過濾方案：

  1. 專利迷你摺式 (Mini-Pleat) 技術： 透過精密摺疊大幅擴張過濾表面積，能有效提升容塵量，延長更換週期。
  2. 超低初阻力節能設計： 最佳化的氣流通道設計，能降低風機運行負荷，每年可為廠端節省顯著的電力耗損。
  3. 100% 逐台洩漏檢測： 每一台出廠的濾網皆須通過 EN1822:2009 認證及 Leak Scan Test，確保無任何穿透性洩漏點。
  4. 高強度框架工法： 採用陽極處理鋁擠型框架，抗腐蝕、低發塵，即便在高風速環境下仍能保持結構穩定。

專家建議：半導體無塵室濾網的更換標準與維護

根據 IEST-RP-CC001 國際標準與實務經驗，廠務人員應建立以下三大指標來判定更換時機：

1. 壓損監測（Pressure Drop）

當濾網的阻力達到 「初阻力」的 2 至 2.5 倍（通常建議上限為 250-300 Pa）時，代表濾材孔隙已近飽和。此時風機需耗費更多功率補償阻力，不及時更換將導致能源浪費並增加風機故障風險。

2. 風速均勻度檢測

定期量測出風面的風速。若發現特定區域風速偏差超過基準值的 ±20%，通常意味著部分區域已發生局部堵塞或層流異常。

3. PAO/DOP 現場測漏

建議每半年進行一次現場 洩漏檢測（Integrity Test）。若發現邊框膠合處或濾紙纖維受損且無法修補，應立即進行整台更換，以維持無塵室的 ISO 潔淨等級。

漢克林：您的半導體過濾夥伴

我們深知半導體與電子廠對「穩定性」的極致要求。漢克林提供從 初效、中效到 HEPA/ULPA 的一站式解決方案，並支援高度客製化 OEM/ODM 生產，協助企業在提升產能良率的同時，達成綠色工廠的營運目標。

常見問題 FAQ

Q：半導體廠採購 HEPA 濾網最關鍵的規格參數有哪些？ A： 關鍵參數包含：過濾效率等級（H13/H14）、額定風量下的初阻力（Initial Resistance）、濾材耐化性、以及是否具備符合 EN1822 的測試報告。針對高階製程，還需考量濾材的 Outgassing（氣體逸散）特性。

Q：工業濾網的客製化代工需要多久時間？ A： 漢克林擁有完整的一條龍生產線，從棉的複合、打摺、灌膠到組裝皆在廠內完成。客製化規格從確認到樣品生產，通常能提供比業界更快的交期，不過還是建議提早排單，較能縮短維修停機時間。

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