了解無塵室中三個主要空調設備 MAU、DCC、FFU - Hencolin 漢克林企業 |工業空氣濾網領導品牌

無塵室（Clean Room），也可稱為「潔淨室」。是一個嚴格控制室内之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈的環境。

而無塵室內的潔凈空氣，來源是外氣（Outside Air），在經過無塵室系統中的各種空氣調節和過濾裝置進行處理後，才能滿足無塵室的潔凈要求。其中有三個關鍵設備：MAU、DCC 和 FFU。

MAU – 外氣空調箱

MAU（Make-up Air Unit），也稱為外氣空調箱，對無塵室環境的影響最大。主要功能是控制露點、製造潔凈空氣並確保無塵室保持正壓。無塵室需要恆溫恆濕的新鮮空氣，因此必須從室外抽取新鮮空氣通過 MAU 進行除塵、濕度控制、溫度控制，將空氣調節到符合無塵室需求的條件，並替換掉原有的空氣。

DCC – 乾式冷卻盤管

DCC（Dry Cooling Coil），是用於控制室內溫度、消除室內各種顯熱的設備。在無塵室中，這些顯熱包括了例如人、照明、機械等所產生熱量。

而 DCC 可搭配 MAU 提供的出風溫度，調整迴風管道中的氣流溫度，這樣可以減少循環冷卻盤管所需的冰水量，隨時調整無塵室的熱負載。

FFU – 風機過濾機組

FFU（Fan Filter Unit），是由高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）和微型送風機、殼體組合而成的過濾與送風設備，常用於亂流及層流無塵室內，可以想像成是一個自帶動力的末端過濾與送風裝置，廣泛地應用於無塵室當中。

在無塵室中，會由 MAU、FFU 和 DCC 協同工作。外氣由 MAU 負責進行預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻和加熱的處理，將微塵初步過濾並控制其溫溼度，然後送入無塵室的迴風道內。DCC 乾式冷卻盤管進一步將迴風管道中的迴風降溫至符合無塵室要求的範圍。然後 FFU 以超高效過濾網過濾空氣，並帶動無塵室內的氣流循環，帶走微塵和熱量，實現所需的潔凈度和換氣量。最後，將潔凈空氣供應回無塵室內的製造區(Fab)。